HR-AFM是一款專業(yè)級的多功能原子力顯微鏡，Z軸噪音低于35皮米。該設備可以在不破壞樣品內部結構的情況下觀測樣品微區(qū)三維形貌和多相結構；同時可對樣品表面物理化學特性進行研究，數值測定與分析。
國內生產的HR-AFM原子力顯微鏡
標準工作模式：輕敲模式(Vibration mode)，接觸模式 (Contact mode)，相位成像模式 (Phase imaging)，橫向力模式 (LFM)，力曲線測試（Force Curve），納米操控 （Nanomanipulation），納米刻蝕 （Nanolithography），力矩陣模式 （Force Mapping），摩擦力測試 （Friction Mode）
可選工作模式：導電原子力顯微鏡 （C-AFM），磁力顯微鏡（MFM），靜電力顯微鏡（EFM）,掃描電勢顯微鏡（SKPM）。
多功能原子力顯微鏡具有軟件自動進針功能。通過軟件控制Z方向馬達實現探針自動進針
X,Y,Z三軸分離的掃描器。
掃描范圍 100×100×17μm
Z軸分辨率0.035nm
樣品臺尺寸：25mm*25mm*18mm
操作軟件：使用Laview環(huán)境語言控制，免費提供操作軟件，并提供維護及升級
提供Gwyddion IMAGE ANALYSIS SOFTWARE 數據分析系統(tǒng)
頂視系統(tǒng)光學分辨率≤2微米
視場范圍從2mm*2mm到300um*300um可調，放大倍率從45倍到400倍機械可調
側視系統(tǒng)，提供可視化下針，可以通過電腦精確觀察控制下針過程，防止撞針
