當油旋轉(zhuǎn)泵在大氣壓下啟動并在低真空操作期間操作時，泵油與被泵送的廢氣一起被排出。這種充滿油的排氣霧由微小的油滴組成，從泵的排氣口流出“煙霧”。TM和TMX系列油霧捕集器有助于確保清潔的工作環(huán)境，并保護室內(nèi)設備免受此油霧造成的污染。
特征
去除油滴（“煙霧”）
泵油蒸汽大大減少，減少污染，此外還需要定期補充泵油同樣大大減少。出色的降噪效果
當泵從大氣壓開始，低真空泵送期間和氣鎮(zhèn)操作期間，噪音地降低。低頻噪聲特別降低。可選擇的采油方法（可選）
當被困油直接返回主泵單元并重新使用時，過濾器的使用壽命會縮短，可能會出現(xiàn)泵問題。
由于截留的油的回收取決于泵的運行條件，請向Ulvac咨詢有關(guān)您的特定泵送任務的建議，并幫助確保組件的正確匹配。與泵的簡單連接
由于TM系列單元的連接端口與標準泵排氣口相匹配，因此連接簡單。（不包括VD601和VD901）內(nèi)部過濾器濾芯是可更換的濾芯
更換此濾芯非常簡單。（將舊TM-3,4和4S型號的過濾器更換為筒式過濾器時需要使用適配器）
* 1務必使用尺寸合適的油霧捕集器，以匹配泵的抽速和正在抽空的腔室容積。
* 2 PVD系列，VD151和VD201的連接需要適配器。
* 3 TMX-1和TMX-2型號不能使用油回收。
* 4 TMX-1，TMX-2和TM-2（舊型號）設備無法轉(zhuǎn)換為盒式過濾器。
產(chǎn)品規(guī)格
| 模型 | 附件法蘭* 1 | 使用真空泵 | 重量（kg） | 材料 |
| TMX-1 | 特殊法蘭/ G1 1/2 | PVD-180（B）* 2 PVD-360（B） VD151 VD201 / TD> | 1.1 | 陷阱：低碳鋼（SPCC） 過濾器：玻璃棉 |
| TM201 | VF40 / G1·1/2 | VD301（低負載）* 5 VD401（低負載） | 8.5 | |
| TM401 | VF40 / G1·1/2 | VD301（高負載）* 6 VD401（高負載） VD601（低負載） VD901（低負載） | 10 | |
| TM-2 （標準，F(xiàn)）* 3 | VG50 / G2，VG50 （用于PKS-016） VF40 / G2，VG50 （用于VD601 / VD901） | PKS-016 VD601（適用于高負載）* 2 VD901（適用于高負載） | 5.7(6.2) *4 | |
| TM-3 （標準，F(xiàn)） | VG80 / G3，VG80 （用于PKS-030） VF50 / G3，VG80 （用于VS1501） | PKS-030 VS1501 | 10.5(11.5)*4 | |
| TM-4 （標準，F(xiàn)） | VG100 / G4，VG100 8用于PKS-070） VF50 / G4，VG100 （用于VS2401） | PKS-070 VS2401 | 23.5(25)*4 | |
| TM-4S | VG100 / VG100 （適用于PKS-070） VF50 / VG100 （適用于VS2401） | PKS-070（適用于高負載） VS2401（適用于高負載） | 59 |
| *1 | 泵連接法蘭：JIS B2290真空法蘭（特殊法蘭除外）/排氣管螺桿尺寸 |
| *2 | 安裝到PVD-180（B），PVD-360（B），VD151，VD201，VD601和VD901時需要適配器。 |
| *3 | 標準：傘型; F：法蘭型。 |
| *4 | （）中的值表示附有法蘭的質(zhì)量。 |
| *5 | 低負荷模型應具有連續(xù)的吸入壓力 |
| *6 | 高負荷模型應具有100kPa或更低的連續(xù)吸氣壓力。 |
