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當(dāng)前位置:青島芯笙微納電子科技有限公司>> 氣體質(zhì)量流量控制器s-300公司
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地青島市
更新時(shí)間:2024-12-22 13:09:41瀏覽次數(shù):47次
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簡(jiǎn)介
高性能MFC,為半導(dǎo)體行業(yè)量身打造
S300系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器/流量計(jì):采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級(jí)優(yōu)良流量傳感器,結(jié)合精細(xì)拋光氣路結(jié)構(gòu)以及高精度數(shù)字控制電路和算法,實(shí)現(xiàn)高精度、低零漂、高重復(fù)性控制。該產(chǎn)品配備現(xiàn)場(chǎng)顯示屏和地址編碼開(kāi)關(guān),多種通訊方式可選、可定制全金屬密封,適配半導(dǎo)體、真空鍍膜、光伏及其它各類應(yīng)用環(huán)境 。
主要優(yōu)勢(shì)
S1 物理功能模塊豐富
頂部配置有豐富的功能模塊:
* RJ45數(shù)字通信接口(可定制
EtherCAT或RS485協(xié)議)
* 地址編碼開(kāi)關(guān)
* 現(xiàn)場(chǎng)顯示屏
* 狀態(tài)指示燈
此外,側(cè)面配置有M8航空供電接口,顯示直觀、操作簡(jiǎn)單,方便用戶進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)流量監(jiān)測(cè)和控制。
S2 快速響應(yīng)
1.5ms傳感器響應(yīng)時(shí)間,0.1~0.5s儀表系統(tǒng)響應(yīng)時(shí)間,及時(shí)捕捉微小流量變化。
S3 高精度
2.0%-百分F.S.全量程段保持高精度:
0.3%F.S.(≤30%F.S.);1.0%S.P.(>30%F.S.)
S4 配備專用上位機(jī)
配備功能強(qiáng)大的SmartFlow上位機(jī)軟件,支持多臺(tái)聯(lián)動(dòng),方便進(jìn)行監(jiān)測(cè)和設(shè)備配置。
S5 認(rèn)證產(chǎn)品
通過(guò)TüV國(guó)際機(jī)構(gòu)CE&EMC認(rèn)證,或JLY一級(jí)校準(zhǔn)證書(shū)等,符合多項(xiàng)SEMI標(biāo)準(zhǔn)。
產(chǎn)品規(guī)格
* 除非另有說(shuō)明,本產(chǎn)品標(biāo)定于以下條件:氮?dú)?、溫?/span>25℃、2.5bar差壓(進(jìn)氣口3.5bar絕壓對(duì)出氣口1bar
絕壓)、水平放置安裝。
* 建議在入口端安裝尺寸合適的直管段,否則可能會(huì)引起精度產(chǎn)生偏差。
* 建議在入口端和出口端匹配盡可能大的接頭,以避免導(dǎo)致額外的壓損。
1 所示量程為氮?dú)饪蛇x量程。
2 %F.S.指誤差占滿量程的百分比。
3 %S.P.指誤差占設(shè)定值的百分比。
4 響應(yīng)時(shí)間指達(dá)到設(shè)定值±2%以內(nèi)所需要的時(shí)間。
5 工作壓力指進(jìn)氣口與出氣口(1bar絕壓)之間的差壓,更多細(xì)節(jié)請(qǐng)聯(lián)系我們。
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