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氣體質(zhì)量流量控制器s-300價格

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地青島市

更新時間:2024-12-23 00:20:43瀏覽次數(shù):59次

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簡介高性能MFC,為半導體行業(yè)量身打造S300系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器/流量計:采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級優(yōu)良流量傳感器,結合精細拋光氣路結構以及高精度數(shù)字控制電路和算法,實現(xiàn)高精度、低零漂、高重復性控制。該產(chǎn)品配備現(xiàn)場顯示屏和地址編碼開關,多種通訊方式可選、可定制全金屬密封,適配半導體、真空鍍膜、光伏及其它各類應用環(huán)境 。

簡介

高性能MFC,為半導體行業(yè)量身打造

S300系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器/流量計:采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級優(yōu)良流量傳感器,結合精細拋光氣路結構以及高精度數(shù)字控制電路和算法,實現(xiàn)高精度、低零漂、高重復性控制。該產(chǎn)品配備現(xiàn)場顯示屏和地址編碼開關,多種通訊方式可選、可定制全金屬密封,適配半導體、真空鍍膜、光伏及其它各類應用環(huán)境 。

主要優(yōu)勢

S1 物理功能模塊豐富

頂部配置有豐富的功能模塊:

* RJ45數(shù)字通信接口(可定制

   EtherCATRS485協(xié)議)

* 地址編碼開關

* 現(xiàn)場顯示屏

* 狀態(tài)指示燈

此外,側(cè)面配置有M8航空供電接口,顯示直觀、操作簡單,方便用戶進行現(xiàn)場流量監(jiān)測和控制。

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S2 快速響應

1.5ms傳感器響應時間,0.1~0.5s儀表系統(tǒng)響應時間,及時捕捉微小流量變化。

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S3 高精度

2.0%-百分F.S.全量程段保持高精度:

0.3%F.S.(30%F.S.);1.0%S.P.(30%F.S.)

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S4 配備專用上位機

配備功能強大的SmartFlow上位機軟件,支持多臺聯(lián)動,方便進行監(jiān)測和設備配置。

 

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S5 認證產(chǎn)品

通過TüV國際機構CE&EMC認證,或JLY一級校準證書等,符合多項SEMI標準。

 

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產(chǎn)品規(guī)格

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*  除非另有說明,本產(chǎn)品標定于以下條件:氮氣、溫度25℃、2.5bar差壓(進氣口3.5bar絕壓對出氣口1bar

    絕壓)、水平放置安裝。

*  建議在入口端安裝尺寸合適的直管段,否則可能會引起精度產(chǎn)生偏差。

*  建議在入口端和出口端匹配盡可能大的接頭,以避免導致額外的壓損。

1  所示量程為氮氣可選量程。

2  %F.S.指誤差占滿量程的百分比。

3  %S.P.指誤差占設定值的百分比。

4  響應時間指達到設定值±2%以內(nèi)所需要的時間。

5  工作壓力指進氣口與出氣口(1bar絕壓)之間的差壓,更多細節(jié)請聯(lián)系我們。

 

 尺寸及通信

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