上海納騰儀器有限公司
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XUV多層反光鏡
X射線多層反射鏡
應(yīng)用實(shí)例 基板材料 典型波長 XUV（EUV） 反射鏡 EUV光刻 高階諧波應(yīng)用 阿秒科學(xué) X射線激光器 多層反射鏡 Mp/Si Ru/Si Zr/Al SiC/Mg Cr/C 50電子伏至100電子伏 50電子伏至100電子伏 50電子伏至70電子伏 25電子伏至50電子伏 至300電子伏 單層反射鏡 SiC Pt Ru 10電子伏至100電子伏 X射線反射鏡 同步加速器應(yīng)用 XFEL應(yīng)用 內(nèi)置X射線無損 檢查設(shè)備 多層反射鏡 W/C W/B4C Ru/C Pt/C 1k電子伏至30k電子伏 單層反射鏡 C B4C SiC Cr Ni 1k電子伏至30k電子伏 XUV多層反光鏡 描述 基板形狀：平面、凸形、凹形、拋物面、超環(huán)面、橢圓面 基板材料：石英、硅、zero dewer等 多層膜材料：Mo/Si、Ru/Si、Zr/Al、SiC/Mg、Cr/C等 基板尺寸：φ3毫米至φ300毫米 Mo/Si多層反射鏡具有接近13納米（90電子伏）波長的高反射率。NTT-AT的Mo/Si多層反射鏡具有高達(dá)70％的正入射反射率。 NTT-AT的XUV反射鏡的材料、膜結(jié)構(gòu)和基板形狀可以定制以滿足用戶有關(guān)中心波長和光學(xué)裝置的需求。 基板形狀：平面、橢圓面、拋物面、柱面、超環(huán)面 基板：石英、硅、zero dewer等 基板材料：W/B4C、W/C、Pt/C等 基板尺寸：500毫米 NTT-AT提供K-B反射鏡系統(tǒng)、沃爾特反射鏡等 X射線多層反射鏡 描述 反射率，粉紅色；計(jì)算的反射率，周期長度： 2.95納米）W/B4C多層和W/C多層膜反射鏡對硬X射線應(yīng)用具有高反射率。為了有效反射和聚集硬X射線，必須限度地縮小入射角的斜角。這需要較長的反射鏡長度和較小的多層膜周長。 單層反射鏡 描述 基板形狀：平面、橢圓面、拋物面、柱面、超環(huán)面 基板材料：石英、硅、zero dewer等 多層材料：C、B4C、SiC、Ru、NbN、Pt等 基板尺寸：500毫米 利用全反射的單層反射鏡用于波束控制、光聚合和去除XUV至X射線范圍內(nèi)的無需波長。 NTT-AT的單層反射鏡的材料和基板形狀可以定制以滿足用戶有關(guān)中心波長和光學(xué)裝置的需求。 帶釕層的橢圓面反射鏡
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