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更新時(shí)間：2025-01-09 14:05:26瀏覽次數(shù)：77次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 農(nóng)機(jī)網(wǎng)臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x產(chǎn)品簡(jiǎn)介：勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝，制版及表面涂覆等工藝，可在科研、教育等單位作科研、教學(xué)之用。其總體設(shè)計(jì)由蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司獨(dú)立開發(fā)完成，具有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)。 勻膠機(jī)快速啟動(dòng)和穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速，能夠保證膠厚度的一致性和均
產(chǎn)品介紹
臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x產(chǎn)品簡(jiǎn)介：勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝，制版及表面涂覆等工藝，可在科研、教育等單位作科研、教學(xué)之用。其總體設(shè)計(jì)由蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司獨(dú)立開發(fā)完成，具有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)。
勻膠機(jī)快速啟動(dòng)和穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速，能夠保證膠厚度的一致性和均勻性。采用全觸摸屏控制，三檔轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后先在低速下進(jìn)行勻膠，之后切換至高速下進(jìn)行甩膠，轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào);實(shí)現(xiàn)啟?？煽?，轉(zhuǎn)速實(shí)時(shí)觀察等功能。儀器配置“安全開關(guān)”按鈕，當(dāng)進(jìn)行高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，關(guān)上上蓋后，“安全開關(guān)”啟動(dòng)，運(yùn)行過程中，上蓋不能打開?？梢云鸬奖Ｗo(hù)作用。
汶顥股份勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。勻膠機(jī)通常配無油真空泵一起使用。
勻膠機(jī)是一種常見用于材料薄膜制備工藝的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，它的原理相對(duì)比較簡(jiǎn)單，利用電機(jī)高速旋轉(zhuǎn)時(shí)所產(chǎn)生的離心力使得試液或者膠液均勻地涂敷在基底材料的表面，顧名思義，一種可以“讓膠液均勻涂敷的機(jī)器”。
勻膠機(jī)英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱：旋涂?jī)x、旋涂機(jī)、甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)。
勻膠機(jī)既然是科研開發(fā)上制備薄膜材料的方法之一，使用者對(duì)于該設(shè)備的期待就在于其能夠“均勻”地涂敷試液或者膠液。通常我們會(huì)用均一性和可重復(fù)性來衡量薄膜材料制備的好壞。
1.轉(zhuǎn)速：硅片4英寸(含)以內(nèi)300-8500RPM;4-6英寸(含)以內(nèi)300-6000RPM;
2.時(shí)間控制：1-32767s;
3.轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：±1%;
4.膠的均勻性：±3%;
5.參數(shù)設(shè)定：觸摸屏設(shè)置參數(shù);
6.適用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等勻膠;
7.電源輸入：AC220V±10V，50HZ;
8.功率：60W;
9.重量：13kg;
10.外形尺寸：300(W)*227(H)*350(D);
11.工作環(huán)境：溫度0℃-40 ℃，相對(duì)濕度<80 %。
12.標(biāo)配4英寸吸盤，可選直徑8mm、1英寸、2英寸、3英寸、5英寸、6英寸吸附托盤。
臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x特征圖解
?、俜雷矇|②勻膠托盤③觸摸屏④專用吸附盤⑤觀察窗⑥蓋板 ⑦抽氣孔⑧電源插口及開關(guān)
(1)選擇合適的專用吸附盤(略小于樣本尺寸)，將缺口對(duì)準(zhǔn)螺釘安裝，吸附盤安裝時(shí)一定要插入到底。
(2)開啟電源，進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)置頁面?？煞謩e設(shè)置三個(gè)階段轉(zhuǎn)速和時(shí)間，按工藝設(shè)置好轉(zhuǎn)速和時(shí)間，點(diǎn)擊“確定”。
(3)進(jìn)入啟動(dòng)儀器界面，放片，要注意放正。打開真空泵，點(diǎn)擊“吸盤”后點(diǎn)“啟動(dòng)”，儀器開始運(yùn)行。轉(zhuǎn)速和運(yùn)行階段以及當(dāng)前階段剩余時(shí)間可在顯示屏上實(shí)時(shí)觀察。
(4)滴膠，動(dòng)作要快。在階段運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間內(nèi)滴膠完畢，關(guān)上上蓋;隨時(shí)間推移自動(dòng)運(yùn)行第二和第三階段。關(guān)上上蓋后，安全開關(guān)啟動(dòng)，必須等到儀器停止運(yùn)行，上蓋才能被打開。
(5)電機(jī)停轉(zhuǎn)后，點(diǎn)擊脫盤，吸片停止。打開上蓋，取下片子。
(6)繼續(xù)勻膠時(shí)重復(fù)以上步驟。
(8)勻膠結(jié)束后，關(guān)上上蓋，切斷電源。
拆開包裝后，請(qǐng)按照裝箱單詳細(xì)檢查配件，如有缺失，請(qǐng)聯(lián)系銷售商。注意必須將所有包裝和泡沫墊卸下，否則有可能因熱量不易散發(fā)或受到其它外界因素的影響引起火災(zāi)。
操作前請(qǐng)?jiān)敿?xì)閱讀本說明全部?jī)?nèi)容，并嚴(yán)格按照要求依次進(jìn)行操作。若用戶因不規(guī)范操作或違規(guī)操作而導(dǎo)致的人身傷害事故、儀器損害、財(cái)產(chǎn)損失，制造商將不予承擔(dān)。
(1) 安置本儀器的桌(臺(tái))面應(yīng)堅(jiān)實(shí)平整，四只橡膠腳墊應(yīng)與桌(臺(tái))面平穩(wěn)接觸，否則會(huì)產(chǎn)生儀器不平穩(wěn)，從而導(dǎo)致超標(biāo)準(zhǔn)的震動(dòng)，致使器件損傷或儀器停止運(yùn)行。
(2) 儀器工作時(shí)，操作人員不得倚靠在儀器上，非工作人員不得在非安全空間內(nèi)逗留，勻膠機(jī)周圍不得放置危險(xiǎn)物品。
(3) 所甩樣片的尺寸要大于吸附盤有效尺寸2-3mm左右，如果用大吸附盤甩小的樣片就會(huì)產(chǎn)生漏氣，同時(shí)造成膠被吸入抽氣室，導(dǎo)致氣路堵塞。
(4) 如果不慎膠被吸入了抽氣室，要立刻進(jìn)行清洗，否則吸附盤、光電盤、電機(jī)軸會(huì)黏在一起，造成電機(jī)轉(zhuǎn)不動(dòng)，拆卸亦很困難。
(5) 氣路堵塞或氣泵損壞時(shí)電機(jī)也可運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生飛片，故在啟動(dòng)電機(jī)前須確認(rèn)氣泵的狀況良好及吸片確已吸住。
(6) 儀器出現(xiàn)故障應(yīng)及時(shí)與銷售商或廠家聯(lián)系，切勿自行打開機(jī)殼。嚴(yán)禁非專業(yè)人員維修，維修時(shí)必須先拔下電源插頭，防止事故發(fā)生。
國(guó)產(chǎn)臺(tái)式旋涂機(jī)/勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速準(zhǔn)確性測(cè)試數(shù)據(jù)表：
| 設(shè)置轉(zhuǎn)速(RPM) | 第1次 | 第2次 | 第3次 | |||
| 數(shù)值 | 偏差% | 數(shù)值 | 偏差% | 數(shù)值 | 偏差% | |
| 300 | 297 | -1.00 | 302 | 0.67 | 297 | -1.00 |
| 500 | 497 | -0.60 | 504 | 0.80 | 497 | -0.60 |
| 1000 | 998 | -0.20 | 1001 | 0.10 | 997 | -0.30 |
| 1500 | 1496 | -0.27 | 1504 | 0.27 | 1496 | -0.27 |
| 2000 | 1997 | -0.15 | 2005 | 0.25 | 1996 | -0.20 |
| 2500 | 2498 | -0.08 | 2502 | 0.08 | 2492 | -0.32 |
| 3000 | 2994 | -0.20 | 3004 | 0.13 | 2992 | -0.27 |
| 3500 | 3497 | -0.09 | 3503 | 0.09 | 3493 | -0.20 |
| 4000 | 3997 | -0.08 | 4008 | 0.20 | 3995 | -0.13 |
| 5000 | 4993 | -0.14 | 5004 | 0.08 | 4993 | -0.14 |
| 6000 | 5993 | -0.12 | 6004 | 0.07 | 5992 | -0.13 |
| 7000 | 6992 | -0.11 | 7008 | 0.11 | 6988 | -0.17 |
| 8000 | 7994 | -0.08 | 8005 | 0.06 | 7985 | -0.19 |
| 8500 | 8492 | -0.09 | 8514 | 0.16 | 8480 | -0.24 |
| 測(cè)試結(jié)論 | 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性在±1%內(nèi)，測(cè)試結(jié)果合格. | |||||
| 名稱 | 單位 | 數(shù)量 |
| 勻膠機(jī)機(jī)體 | 臺(tái) | 1 |
| 電源線 | 份 | 1 |
| 專用吸附盤4寸 | 個(gè) | 1 |
| 勻膠托盤 | 個(gè) | 1 |
| 專用吸附盤1寸、2寸、3寸 | 個(gè) | 選配 |
| 有油真空泵 | 個(gè) | 1 |
| 無油真空泵 | 個(gè) | 選配 |
| Ø6氣管 | M | 3 |
| 使用手冊(cè) | 份 | 1 |
| 質(zhì)檢報(bào)告 | 份 | 1 |
| 合格證 | 份 | 1 |
| 保修卡 | 份 | 1 |
無油真空泵技術(shù)參數(shù)無油真空泵：又稱干式真空泵，是泵的工作腔內(nèi)沒有任何介質(zhì)，可以原汁原味的回收氣體。
型號(hào)：AP-550V
抽速：1.5 升/秒
功率：320W
噪音：58db
電壓、頻率：~220V/50HZ
真空度：-700mmHg
重量：5.8kg
外形尺寸：240×130×200mm
下列故障非本機(jī)故障，用戶可參考自行解決，若仍不能排除故障，請(qǐng)及時(shí)本公司服務(wù)熱線：，本公司將竭誠(chéng)為廣大用戶服務(wù)。
| 故障現(xiàn)象 | 原因 | 排除 |
| 電機(jī)不轉(zhuǎn) | 1.電源線沒插好 | 插好電源線 |
| 2.保險(xiǎn)管熔斷 | 換用同規(guī)格新的保險(xiǎn)管 | |
| 硅片沒吸住 | 1.吸氣管未插 | 插好吸氣管 |
| 2.真空泵沒開 | 打開真空泵 |
臺(tái)式勻膠機(jī)旋涂?jī)x維護(hù)清洗
屬下列情況之一時(shí)，需要對(duì)抽氣室進(jìn)行清洗
1.正常使用半個(gè)月的;
2.膠被吸入抽氣室的;
3.電機(jī)轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定或被卡住轉(zhuǎn)不動(dòng)的。
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