COBRA Semicon 干式螺桿真空泵是光伏電池、平板顯示器、半導(dǎo)體生產(chǎn)等高要求工藝以及眾多工業(yè)鍍膜應(yīng)用的理想之選。
COBRA Semicon 的工作原理基于我們的螺桿技術(shù)。得益于榮獲的自平衡螺桿,它們?cè)谛史矫鏄?shù)立了全新標(biāo)準(zhǔn)。
COBRA Semicon 兼具大氣量與高蒸汽和顆粒耐受力。因此,它們可以順利抽取含顆粒的介質(zhì)。
無(wú)油和非接觸式運(yùn)行的工作原理可確保低維護(hù)需求、低運(yùn)行成本及長(zhǎng)使用壽命。
COBRA Semicon 尺寸緊湊,即使在狹小空間中也易于安裝。
工作原理
在 COBRA Semicon 干式螺桿真空泵中,兩個(gè)螺桿轉(zhuǎn)子沿著相反方向旋轉(zhuǎn)。泵送的介質(zhì)被吸入泵腔和螺桿之間, 經(jīng)壓縮后輸送至排氣口。在此過(guò)程中,螺桿轉(zhuǎn)子不會(huì)相互接觸,也不與泵腔接觸。