光刻膠中顆粒數(shù)量需要管控。光刻膠溶液中的顆粒數(shù)量直接決定了圖案的加工質(zhì)量和后續(xù)器件的良率。液體顆粒度儀作為電子材料開(kāi)發(fā)的基本設(shè)備，用于在制造半導(dǎo)體、顯示面板過(guò)程中保持高清潔度的液體粒子計(jì)數(shù)器?？蓹z測(cè)光阻產(chǎn)品、SOG 等產(chǎn)品中最小0.07um 的顆粒。適應(yīng)于光刻膠材料開(kāi)發(fā)和來(lái)料檢測(cè)。
KS-41A主要技術(shù)參數(shù)
測(cè)試方式：Off-line
測(cè)量最小粒徑：0.15um
粒徑范圍：0.15um-0.5um
出廠設(shè)定通道:0.15 / 0.2 / 0.3 / 0.5um
可自行擴(kuò)充至10Channels
液體流速: 10mL / min
光源：鐳射二極管（波長(zhǎng) 830nm,輸出功率:200mW）
可測(cè)試粒子濃度：1200 顆/mL（0.15um 的誤差值在 5%以內(nèi)）
