上海納騰儀器有限公司
會(huì)員1.png)
上海納騰儀器有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)NIL75
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海
農(nóng)機(jī)網(wǎng)采購(gòu)部電話：0571-88918531
QQ:2568841715
聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2025-01-12 13:47:41瀏覽次數(shù)：43次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 農(nóng)機(jī)網(wǎng)暫無(wú)信息 |
納米壓印技術(shù)突破了傳統(tǒng)光刻在特征尺寸減小過(guò)程中的難題，具有分辨率高、低成本、高產(chǎn)率的特點(diǎn)。自1995年提出以來(lái)，納米壓印已經(jīng)經(jīng)過(guò)了14年的發(fā)展，演變出了多種壓印技術(shù)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、mems、生物芯片、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。被譽(yù)為改變?nèi)祟?lèi)的技術(shù)之一。
NIL壓印機(jī)的基本思想是通過(guò)模版，將圖形轉(zhuǎn)移到相應(yīng)的襯底上，轉(zhuǎn)移的媒介通常是一層很薄的聚合物膜，通過(guò)熱壓或者輻照等方法使其結(jié)構(gòu)硬化從而保留下轉(zhuǎn)移的圖形。整個(gè)過(guò)程包括壓印和圖形轉(zhuǎn)移兩個(gè)過(guò)程。根據(jù)壓印方法的不同，NIL主要可分為熱塑（Hot embossing）、紫外固化UV和微接觸（Micro contact printing， uCP）三種光刻技術(shù)。
二、 功能
l 主要功能
納米壓印機(jī)的主要功能是將圖形轉(zhuǎn)移到相應(yīng)的襯底上，轉(zhuǎn)移的媒介通常是一層很薄的聚合物膜，通過(guò)熱壓或者輻照等方法使其結(jié)構(gòu)硬化從而保留下轉(zhuǎn)移的圖形。壓印技術(shù)主要分為以下兩種：
熱壓：首先在襯底上涂上一層薄層熱塑形高分子材料（如PMMA）。升溫并達(dá)到此熱塑性材料的玻璃化溫度Tg（Glass transistion temperature）之上。熱塑性材料在高彈態(tài)下，將具有納米尺度的模具壓在上面，并施加適當(dāng)?shù)膲毫Γ瑹崴苄圆牧蠒?huì)填充模具中的空腔，模壓過(guò)程結(jié)束后，溫度降低使熱塑性材料固化，從而得到與模具的重合的圖形。隨后移去模具，并進(jìn)行各相異性刻蝕去除殘留的聚合物。接下來(lái)進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移。圖形轉(zhuǎn)移可以采用刻蝕或者剝離的方法?？涛g技術(shù)以熱塑性材料為掩膜，對(duì)其下面的襯底進(jìn)行各向異性刻蝕，從而得到相應(yīng)的圖形。剝離工藝先在表面鍍一層金屬，然后用有機(jī)溶劑溶解掉聚合物，隨之熱塑性材料上的金屬也將被剝離，從而在襯底上有金屬作為掩膜，隨后再進(jìn)行刻蝕得到圖形。
紫外壓印：為了改善熱壓印中熱變形的缺點(diǎn)，特克薩斯大學(xué)的C. G. willson和S. v. Sreenivasan開(kāi)發(fā)出步進(jìn)-閃光壓印（Step- Flash Imprint Lithography），這種工藝中采用對(duì)紫外透明的石英玻璃（硬模）或PDMS（軟模），光阻膠采用低粘度，光固化的單體溶液。先將低粘度的單體溶液滴在要壓印的襯底上，結(jié)合微電子工藝，薄膜的淀積可以采用旋膠覆蓋的方法，用很低的壓力將模版壓到晶圓上，使液態(tài)分散開(kāi)并填充模版中的空腔。透過(guò)模具的紫外曝光促使壓印區(qū)域的聚合物發(fā)生聚合和固化成型。最后刻蝕殘留層和進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移，得到高深寬比的結(jié)構(gòu)。最后的脫模和圖形轉(zhuǎn)移過(guò)程同熱壓工藝類(lèi)似。
l 技術(shù)特點(diǎn)
機(jī)器名稱(chēng) | 紫外/熱壓式納米壓印機(jī)（氣壓式） |
型號(hào) | NIL75 |
尺寸規(guī)格 | 400mm（L）*500mm(W)*850mm(G) |
重量 | 90 KG |
壓印樣品尺寸 | 3英寸 |
固化方式 | 熱固化/紫外固化 |
電源電壓 | 220V，50Hz |
總功率 | 1.0KW |
真空系統(tǒng)： |
|
極限真空度 | -95kPa |
高壓系統(tǒng)： |
|
壓強(qiáng) | 0.75MPa |
溫度控制系統(tǒng)： |
|
加熱方式 | 220V，200W電熱絲 |
冷卻方式 | 流動(dòng)空氣冷卻 |
溫控范圍 | 室溫-200℃ |
控制系統(tǒng) | PLC及觸摸屏 |
工作環(huán)境 | 超凈間、溫度0-38℃ |
機(jī)器噪聲 | ≤50dB |
機(jī)器表面外觀 | 噴漆 |
l 技術(shù)能力
該設(shè)備的發(fā)明人2001年至 2003 年，在納米壓印技術(shù)發(fā)明人、 美國(guó)普林斯頓大學(xué) StephenY.Chou 教授的納米結(jié)構(gòu)實(shí)驗(yàn)室作為研究助理進(jìn)行了為期 3 年的研究工作，發(fā)展了紫外光固化納米壓印工藝與材料，對(duì)納米壓印技術(shù)的發(fā)展做出了重要的貢獻(xiàn)。2004 年加入材料科學(xué)與工程系后繼續(xù)圍繞納米微加工技術(shù)與納米壓印技術(shù)開(kāi)展研究工作，研發(fā)了數(shù)種新型納米壓印材料，發(fā)展了新型高分子壓印模板，提出了曲面納 米壓印技術(shù)；利用 863 課題“紫外光固化和熱壓兩用納米壓印設(shè)備的研制與應(yīng)用"項(xiàng)目的支持，研制成功具有紫外光固化和熱壓功能兩用納米壓印設(shè)備，現(xiàn)已成為產(chǎn)品，并被南京大學(xué)、北京航空航天大學(xué)、國(guó)防科技大學(xué)、黑龍江大學(xué)、中科院深圳研究院等多家高校和科研機(jī)構(gòu)所采用，形成了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的納米壓印核心技術(shù)，申請(qǐng)和獲得了多項(xiàng)中國(guó)專(zhuān)用與美國(guó)專(zhuān)用，技術(shù)水準(zhǔn)與當(dāng)前國(guó)際該領(lǐng)域水平同步。
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
農(nóng)機(jī)網(wǎng) 設(shè)計(jì)制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請(qǐng)輸入賬號(hào)
請(qǐng)輸入密碼
請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
