憑借TS2000-DP，MPI提供了一個多功能且經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的探針臺，用于在20°C至300°C的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行晶圓上高功率器件測量，測量能力高達(dá)3 kV（三軸）/ 10 kV（同軸）和600A（脈沖）。
產(chǎn)品描述
1.專為各種晶圓生產(chǎn)應(yīng)用而設(shè)計
DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV應(yīng)用
高達(dá)67 GHz的射頻應(yīng)用和4端口設(shè)置
高達(dá)10 kV /600 A 的高功率生產(chǎn)應(yīng)用
從室溫到300℃的IC設(shè)計驗證
2. 生產(chǎn)可靠性
專為24/7 穩(wěn)定可靠的生產(chǎn)測試而設(shè)計
集成被動隔振臺
可選的主動隔振基座
適用于300℃的環(huán)境溫度
3. 人體工學(xué)設(shè)計和選擇
易于單晶圓前裝載設(shè)計
大型探針臺可支持12x直流或4x DC+4x RF 微定位器、或4.5”標(biāo)準(zhǔn)探針卡夾具
特點(diǎn)與優(yōu)勢
1. 探針卡和MicroPositioners
TS2000-DP提供高達(dá)12倍的高電壓（高達(dá)3 kV三軸或10 kV同軸）或4倍多指高電流（高達(dá)400 A MicroPositioners）
許多單探針，專用探針卡夾，用于防電弧高功率探針卡，使系統(tǒng)成為高功率器件特性測量的理想選擇
2. 反弧技術(shù)
該系統(tǒng)配有ArcShield™，以防止卡盤和探頭臺板之間發(fā)生任何可能的電弧
防電弧探針卡具有在DUT周圍施加高壓的能力，并且通過使用帕邢定律來防止焊盤之間的電弧放電
特別設(shè)計的防電弧LiquidTray™只需將其放置在高功率吸盤表面即可用于抑制電弧。晶圓可以安全地放置在托盤內(nèi)，浸入液體中進(jìn)行無電弧放電高壓測試
MPI卡盤在300°C時可達(dá)10千伏（同軸）
3. 儀器一體化
TS2000-DP可配置多種儀器連接包，包括必要的高壓/高電流探頭和電纜附件，以便與Keysight B15005（3 kV或10 kV）等測試儀器進(jìn)行連接，包括集成模塊選擇器或吉時利2600-PCT-XB，包括集成8020高功率接口面板.
4. 軟件套件SENTIO®
MPI自動化工程探針系統(tǒng)由且革命性的多點(diǎn)觸控操作控制 SENTIO軟件套件—簡單直觀的操作節(jié)省了大量的培訓(xùn)時間，Scroll、Zoom，Move命令模仿現(xiàn)代智能移動設(shè)備，讓每個人能在幾分鐘內(nèi)成為專家
對于RF應(yīng)用，無需切換到另一個軟件平臺-MPI RF校準(zhǔn)軟件程序QAlibria與 SENTIO集成-通過遵循單一操作概念方法易于使用
